表面形状測定装置及び表面形状測定方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：家入健
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006284709
Publication number (International publication number)：2008102014
Application date： Oct. 19, 2006
Publication date： May. 01, 2008
Summary：

【課題】高精度の非接触三次元表面形状測定装置を提供すること。【解決手段】本発明の第1の態様に係る表面形状測定装置100は、第1の軸方向に移動可能な第1のステージ101と、第1のステージ101に装着され、第1の軸に直交する第2の軸方向に移動可能な第2のステージ102と、第2のステージ102に装着されたθ軸103と、θ軸103に装着され、θ軸103に沿って、第1の軸101及び第2の軸102により構成される平面内を回転移動可能な測定ヘッド105とを備え、測定ヘッド105は、光源と、当該光源から出射し、測定表面で反射した反射光を受光して測定ヘッド105から前記測定表面までの深さを検出する深さセンサーと、前記反射光を受光して前記測定表面に対する測定ヘッド105の角度を検出する角度センサーとを備えたものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第1の軸方向に移動可能な第1のステージと、前記第1のステージに装着され、前記第1の軸と交差する第2の軸方向に移動可能な第2のステージと、前記第2のステージに装着されたθ軸と、前記θ軸に装着され、前記θ軸に沿って、前記第1の軸及び第2の軸により構成される平面内を回転移動可能な測定ヘッドとを備え、前記測定ヘッドは、光源と、当該光源から出射し、測定表面で反射した反射光を受光して当該測定ヘッドから前記測定表面までの深さを検出する深さセンサーと、前記反射光を受光して前記測定表面に対する当該測定ヘッドの角度を検出する角度センサーとを備えた表面形状測定装置。

IPC (1)：

G01B 11/24

FI (1)：

G01B11/24 A

F-Term (23)：

2F065AA06 , 2F065AA22 , 2F065AA30 , 2F065AA31 , 2F065AA49 , 2F065AA52 , 2F065AA53 , 2F065CC18 , 2F065FF10 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065JJ18 , 2F065JJ23 , 2F065LL00 , 2F065LL11 , 2F065MM07 , 2F065MM09 , 2F065MM14 , 2F065MM15 , 2F065MM24 , 2F065MM25 , 2F065PP04 , 2F065QQ13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

基板の欠陥修正装置及びその方法並びに液晶基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-375789 Applicant：日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社

Return to Previous Page