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J-GLOBAL ID：200903046722907618

基板の欠陥修正装置及びその方法並びに液晶基板

Inventor：
浅見 暢彦

About 浅見 暢彦

, 
梅津 寛

About 梅津 寛

, 
杉崎 真二

About 杉崎 真二


Applicant, Patent owner：
日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社

About 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社


Agent (1)： 影井 俊次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003375789
Publication number (International publication number)：2005138133
Application date： Nov. 05, 2003
Publication date： Jun. 02, 2005
Summary：
【課題】基板上における修正すべきパターン等に角度が生じていても、迅速かつ正確に修正することができ、しかも凹凸のない仕上げを行う。【解決手段】レーザユニットから基板の欠陥箇所に向けてレーザビームを照射して欠陥を除去するが、このためにレーザユニットに組み込まれるスリット機構は4枚の遮光板20R,20L,20F,20Bで構成され、遮光板20R,20L,20F,20Bには、モータ等からなる往復動駆動手段22R,22L,22F,22Bと、回動駆動手段23R,23L,23F,23Bに接続され、それぞれ独立に往復動及び回動させることができるようになっている。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
レーザ発振器と、このレーザ発振器から照射されるレーザビームの基板への照射領域を制御するスリット機構とからなり、基板表面に形成された所定のパターンに対して可変な照射領域となるようにしてレーザビームを照射することによって、この基板に形成されたパターンを修正する装置において、 前記スリット機構として、レーザビームを通過させる開口を形成するために、前記レーザビームの光軸と直交する方向に設けた4枚の遮光板から構成し、 前記各遮光板は各々独立の往復動駆動手段により所定間隔だけ往復移動可能とし、また少なくとも相対向する2辺を構成する2枚の遮光板はさらに各々独立の回動駆動手段により水平面で所定角度回動可能として、前記開口の形状を変化させるように 構成したことを特徴とする基板の欠陥修正装置。
IPC (3)：
B23K26/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1343
FI (3)：
B23K26/06 J ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1343
F-Term (18)：
2H088FA13 ,  2H088FA14 ,  2H088FA15 ,  2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088HA14 ,  2H092MA35 ,  2H092MA48 ,  2H092NA29 ,  2H092PA09 ,  4E068AC01 ,  4E068CB05 ,  4E068CB08 ,  4E068CC02 ,  4E068CD10 ,  4E068CE02 ,  4E068DA11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (2)

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