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J-GLOBAL ID：200903005691182107

可干渉性動的焦点による光学コヒ-レンストモグラフィ-法及びその装置

Inventor： アドルフ フリードリッヒ フェルヒェル ,  フランツ レクセル (原語表記)Franz LexerEgon Luther ,  ハラルド サッツマン (原語表記)Harald Sattmann
Applicant, Patent owner： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 松田 省躬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999087674
Publication number (International publication number)：2000002506
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】計測光の光路が簡単に確認および調整でき、また種々の構成部に現れる寄生的反射を容易に回避でき、その上計測光路内の反射損失が少なく、それにより信号対雑音比の関係も改善される、可干渉性動的焦点に基づく調整容易な光学コヒーレンストモグラフィー法【解決手段】計測光3を可動プレート鏡41近くに集束させ、傾斜角π以下に設定されたプレート鏡で被測定物体の方向へ反射させ、また計測光焦点40を可動プレート鏡及びその他レンズを通して焦点を移動したり計測光の光路長を変更したりして被測定物体に結像させる

Claim (excerpt)：

計測光36(図2)を、まず可動プレート鏡41近くに集束させ、傾斜角π(α)以下に設定された当プレート鏡で被測定物体の方向へ反射させ、また計測光焦点40を可動プレート鏡41及びその他のレンズを通して被測定物体に結像させることを特徴とし、光の反射位置を参照光による干渉に必要な光路長としての物体内計測光に沿ってそれぞれ参照腕において測定する短コヒーレンス干渉計の計測光を用い、その計測光を辿って行った観察物体の走査、透過に基づき反射箇所の位置を記録することを基礎とする、横方向分解能を高めたコヒーレンストモグラフィー法であって、横方向分解能を最大限上げるために計測光はそれぞれ観察物体の反射位置に集束させ、また、この焦点を測定長に沿って動かす場合は参照光に対して可干渉性を維持し、さらには、必要となるこの焦点移動及び参照光に対する可干渉性の確保に必要な光路長補正が唯一の光学部材を動かすことによって実現する可干渉性動的焦点による光学コヒーレンストモグラフィー法

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 動的コヒーレント焦点によるコヒーレンス生物測定及び 断層撮影の方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-182857   Applicant：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 球体表面検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-078145   Applicant：日本精工株式会社
• 表面形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-344525   Applicant：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
• 特開平1-244306
  

Cited by examiner (4)

• 動的コヒーレント焦点によるコヒーレンス生物測定及び 断層撮影の方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-182857   Applicant：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 球体表面検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-078145   Applicant：日本精工株式会社
• 表面形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-344525   Applicant：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
• 特開平1-244306