磁気センサー装置、その製造方法およびそれに用いる磁性体の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994008274
Publication number (International publication number)：1995221362
Application date： Jan. 28, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】感度が高く、かつ、ばらつきの少ない磁気センサー装置を提供する。【構成】 Si基板10と、その上に形成した磁気の感受部分であるInSb層11と、その上に形成した保護膜13とポリイミド系有機絶縁膜14と、有機溶剤で選択的にポリイミド系有機絶縁膜14を除去し、その除去部に絶縁ペースト16を介してダイスボンドしたフェライト15とを備え、InSb層11に対向するフェライト15の下部を上部より細くすることにより、上部からの流れの磁束は下部で集束し、少なくとも磁気の感受部分で、上部面積/下部面積に応じて有効磁束密度が高まるため、大きく感度を向上させることができる。少なくともその下部を球状にすることで、さらに大きく感度は向上する。

Claim (excerpt)：

磁気の感受部分上に前記感受部分と絶縁して磁性体を備え、前記感受部分に対向する前記磁性体の下部を上部より細くしたことを特徴とする磁気センサー装置。

IPC (6)：

H01L 43/06 , G01R 33/02 , G01R 33/07 , H01F 1/34 , H01F 41/00 , H01L 43/14

FI (2)：

G01R 33/06 H , H01F 1/34 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭63-301577
特開昭63-177579
特開昭49-135587

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