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J-GLOBAL ID:200903005831238868

接合方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000298155
Publication number (International publication number):2002104883
Application date: Sep. 29, 2000
Publication date: Apr. 10, 2002
Summary:
【要約】【課題】 サファイアなどの金属酸化物からなる部材間を、部材の特性を損なうことなく安価に接合できるようにする。【解決手段】 基板101上に、光触媒としての二酸化チタンを添加したアルミニウムの水酸化鉱物であるベーマイト(AlO(OH))の水溶液を塗布して塗布膜102を形成し、この塗布膜102を加熱し、ベーマイトをγ-アルミナの状態とし、これに紫外線を照射した状態で電界を印加し、かつ700°C程度に加熱することで、相転移させてα-アルミナにする。
Claim (excerpt):
金属酸化物からなる基体の接合面上に、前記金属酸化物を構成する金属と酸素とを含む化合物が溶解し、かつ光触媒が添加された溶液からなる溶液層を形成する第1の工程と、この溶液層を加熱し、前記金属と酸素とを前記金属酸化物より不安定でより低いエネルギーレベルに変化しやすい中間体相の状態の化合物とした接着層が前記基体の前記接合面上に形成された状態とする第2の工程と、前記接着層上に他部材を配置して前記基体と前記他部材との間に圧力を加えると共に前記接着層に紫外線を照射しかつ電界を印加した状態で前記接着層を加熱し、前記接着層の中間体相の状態の化合物をより安定な相である前記金属酸化物に転移させて前記基体と前記他部材とを接合する第3の工程とを備えたことを特徴とする接合方法。
F-Term (6):
4G026BA03 ,  4G026BB03 ,  4G026BD14 ,  4G026BF04 ,  4G026BG01 ,  4G026BG22
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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