高圧放電ランプ及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松田正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996292370
Publication number (International publication number)：1998134773
Application date： Nov. 05, 1996
Publication date： May. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】メタルハライドの起動電圧を下げることと、放電中のメタルハライドと発光管材料の石英との反応を抑制させること。【解決手段】発光管100外部に塗布や薄膜形成方法で補助電極4を形成し、その外部電極4を放電電極5と一部電気的に接続することにより、起動電圧をさげることができ、あるいは放電電極5との距離を近づけておく場合は電気的に浮いていても、起動電圧は下げることが出来、Au,Cu,Mo,Ta,W,Ni,Cr等の可視光に対し不透明の補助電極4の場合は発光管100の透過率を減少させないようにパターニングして対向放電電極5に極力近づけ、またITO、SnO2等の透明電極4であれば、全面に形成し、またメタルハライド1と発光管100との反応を抑制するために、外部補助電極4を対で形成しDC電圧を印加すると、陰極側に金属イオンが寄せられるため、メタルハライド1と発光管100との反応が抑制出来る。

Claim (excerpt)：

発光管の外表面の所定部分に外部金属電極が形成されたことを特徴とする高圧放電ランプ。

IPC (2)：

H01J 61/54 , H01J 9/02

FI (2)：

H01J 61/54 B , H01J 9/02 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-074243 Applicant：東芝ライテック株式会社
特開昭52-033386
ショートアークメタルハライドランプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-104409 Applicant：ウシオ電機株式会社

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