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J-GLOBAL ID：200903006016168746

帯状熱源による脆性材料の割断加工方法

Inventor： 梶原 邦夫 ,  沖山 俊裕 ,  白浜 秀幸 ,  大仁田 英信 ,  末永 知宏 ,  木下 耕一 ,  前川 俊一 ,  森田 英毅
Applicant, Patent owner： 双栄通商株式会社 ,  長崎県 ,  新技術事業団
Agent (1)： 倉内 義朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996196231
Publication number (International publication number)：1998034363
Application date： Jul. 25, 1996
Publication date： Feb. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 加工精度の向上をはかることができ、しかも半導体ウェハ等の加工を行う際にLSIなどのデバイスへの熱的な影響が少ない割断加工方法を提供する。【解決手段】 材料の加工始点に形成した亀裂を、レーザビーム等の熱源の印加により発生する照射による熱応力で割断予定線上に沿って誘導することにより当該材料を割断する方法において、熱源Bを、割断予定線Lに沿う方向が長径でその直交方向が短径となるような帯状にして材料に照射することで、熱源のパワー密度を高くすることなく、亀裂の先端付近に勾配が急峻な温度分布を形成する。

Claim (excerpt)：

材料の加工始点に形成した亀裂を、熱源の印加により発生する熱応力で割断予定線上に沿って誘導することにより当該材料を割断する方法において、熱源を、割断予定線に沿う方向が長径でその直交方向が短径となるような帯状にした状態で、材料に印加して上記の亀裂の誘導を行うことを特徴とする帯状熱源による脆性材料の割断加工方法。

IPC (4)：

B23K 26/00 320 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  H01L 21/301

FI (4)：

B23K 26/00 320 E ,  B23K 26/00 N ,  B23K 26/06 E ,  H01L 21/78 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• レーザ加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-111888   Applicant：住友電気工業株式会社
• ダイヤモンドの加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-208711   Applicant：住友電気工業株式会社
• 特公昭61-059837
  
• 特公昭61-059837