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J-GLOBAL ID：200903006119461735
形状測定方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996301476
Publication number (International publication number)：1998141926
Application date： Nov. 13, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：
【要約】【課題】 干渉計を用いて観察物体の形状測定をする場合でも、観察物体の形状を精度良く推定できる形状測定方法を提供する。【解決手段】 観察物体の形状情報を持つ光と参照光とを干渉させることにより、観察物体の形状に依存する干渉像を生成して観察物体の形状を推定するにあたり、干渉像によって観察される位相特異点と観察物体の基準点との相対位置を検出し、その相対位置に基づいて観察物体の形状を演算して推定する。
Claim (excerpt)：
観察物体の形状情報を持つ光と参照光とを干渉させることにより、前記観察物体の形状に依存する干渉像を生成して前記観察物体の形状を推定するにあたり、前記干渉像によって観察される位相特異点と前記観察物体の基準点との相対位置を検出し、その相対位置に基づいて前記観察物体の形状を演算して推定することを特徴とする形状測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
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特開昭63-100302
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バンプ高さ測定方法及び装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-029130
Applicant：株式会社東京精密
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