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J-GLOBAL ID：200903006288940928
ウェ-ハ形状自動観察方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999002875
Publication number (International publication number)：1999312716
Application date： Jan. 08, 1999
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ウェーハの歩留まり管理用のウェーハ形状観察用走査型電子顕微鏡を全自動化し、オペレータのスループットを上回るようにする。またオペレータの認識力以上の安定的な検出力を実現する。【解決手段】 自動ウェーハ搬送装置を付加し、ウェーハ観察用ステージを備えた走査型電子顕微鏡において、オペレータから観察すべきウェーハの情報を得た後、ウェーハ形状観察手順を逐次自動的に実行するようにした。自動化で使用した方法として、ウェーハ上のアライメントマークのステージ位置を認識する方法、異物もしくは欠陥(異常箇所と呼ぶ。)を含む繰り返し形状画像から異常箇所の部分画像を認識する方法、異常箇所を含む画像と対応するリファレンス画像の比較によって異常箇所の部分画像を認識する方法、などがある。
Claim (excerpt)：
ウェーハ上のアライメントマークもしくはアライメントマークから一定距離離れた形状から得られる電子線画像、光学画像、もしくはそれらの微分画像から、正規化相関係数を使ってこの形状のステージ位置を自動的に認識する方法。
IPC (6)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, G01N 23/225
, G06T 7/00
, H01J 37/22 502
, H01L 21/02
H01L 21/66 J
, G01N 23/225
, H01J 37/22 502 Z
, H01L 21/02 A
, G01N 21/88 645 A
, G06F 15/62 405 C
