水素ガスセンサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002017742
Publication number (International publication number)：2003215012
Application date： Jan. 25, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】圧電振動体の表面上に水素ガス選択層を固定することにより、水素が存在する雰囲気中の水素ガス濃度を測定する水素ガスセンサにおいて、測定後に初期状態に戻ることが可能な構成とすることにより、再度使用しても、測定誤差が大きくなるおそれを軽減する。【解決手段】電極(6)を固定した圧電振動体(4)の表面に炭素層(2)を形成し、さらにその上にパラジウムと銀の合金とからなる水素ガス選択層(3)を形成する。このように構成された水素ガスセンサ(1)の前記圧電振動体(4)の共振周波数の変化量を検出することにより、それが置かれた雰囲気中の水素濃度を検出する。

Claim (excerpt)：

電極を固定した圧電振動体と、前記圧電振動体の表面に固定されるパラジウムと銀の合金からなる水素ガス選択層とから構成され、前記圧電振動体の共振周波数の変化量より、前記水素ガスセンサが置かれた雰囲気中の水素ガス濃度を判定することを特徴とする水素ガスセンサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭60-159632
特開平2-110341
安定な微少量液体測定用水晶振動子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-168551 Applicant：梅本雅夫

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