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J-GLOBAL ID:200903006575025190

濃度測定方法、酸化力測定方法、酸化力制御方法、及び酸化工程の制御方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001029904
Publication number (International publication number):2002236094
Application date: Feb. 06, 2001
Publication date: Aug. 23, 2002
Summary:
【要約】【課題】溶液中のペルオキソ硫酸濃度を測定する。【解決手段】ペルオキソ硫酸を含む溶液のペルオキソ硫酸に起因する波長190nm近傍での吸光度を求めるステップと、求められた吸光度から前記溶液中のペルオキソ硫酸の濃度を測定するステップとを含む。
Claim (excerpt):
ペルオキソ硫酸を含む溶液のペルオキソ硫酸に起因する波長190nm近傍での吸光度を求めるステップと、求められた吸光度から前記溶液中のペルオキソ硫酸の濃度を測定するステップとを含むことを特徴とする濃度測定方法。
IPC (4):
G01N 21/33 ,  G01N 21/78 ,  G01N 31/00 ,  G03F 7/42
FI (4):
G01N 21/33 ,  G01N 21/78 Z ,  G01N 31/00 M ,  G03F 7/42
F-Term (31):
2G042AA01 ,  2G042BB10 ,  2G042BB13 ,  2G042BB20 ,  2G042BE03 ,  2G042CA02 ,  2G042CB03 ,  2G042DA03 ,  2G054AA02 ,  2G054CA08 ,  2G054EA04 ,  2G054EB02 ,  2G054FA33 ,  2G054GA02 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059BB16 ,  2G059DD13 ,  2G059DD15 ,  2G059EE12 ,  2G059GG03 ,  2G059GG10 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK03 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  2H096AA25 ,  2H096LA03
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
Article cited by the Patent:
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