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J-GLOBAL ID：200903006699084720

硬質炭素膜及びその製造方法

Inventor：
岡本 裕介

About 岡本 裕介

, 
保田 芳輝

About 保田 芳輝


Applicant, Patent owner：
日産自動車株式会社

About 日産自動車株式会社


Agent (1)： 的場 基憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003182638
Publication number (International publication number)：2005015852
Application date： Jun. 26, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：
【課題】低摩擦な硬質炭素膜、特にエンジン油やトランスミッション油等の潤滑油存在下での使用に適し、潤滑油存在下で0.04以下の摩擦係数を示す、低摩擦な硬質炭素膜及びその製造方法を提供すること。【解決手段】少なくとも表面層が、窒素を3〜25原子%と、IIb族元素、IIIa族元素、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、VIIa族元素及びVIII族元素から成る群より選ばれた少なくとも1種の金属元素を4〜22原子%含有する硬質炭素膜。金属元素及び窒素を含有した硬質炭素膜を形成する際に、イオンプレーティング法、スパッタリング法、プラズマ処理及びイオン注入処理等の処理方法を利用し、形成条件を制御する硬質炭素膜の製造方法である。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
少なくとも表面層が、窒素を3〜25原子%と、IIb族元素、IIIa族元素、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、VIIa族元素及びVIII族元素から成る群より選ばれた少なくとも1種の金属元素を4〜22原子%含有することを特徴とする硬質炭素膜。
IPC (1)：
C23C14/06
FI (1)：
C23C14/06 F
F-Term (13)：
4K029AA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BB00 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029CA10 ,  4K029DC15 ,  4K029EA01 ,  4K029EA05 ,  4K029GA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (7)
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