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J-GLOBAL ID：200903006710231951

表面分析機器による分析元素の同定方法

Inventor：
吉田 康二

About 吉田 康二

, 
長塚 義隆

About 長塚 義隆


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998121672
Publication number (International publication number)：1999304732
Application date： Apr. 16, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：
【要約】【課題】 スペクトルピークの重なりが存在する場合においても、高精度で元素の同定処理を行うことが可能な表面分析機器による分析元素の同定方法を提供する。【解決手段】 試料分析点から得られたスペクトルデータに基づいてスペクトルピークを検出し、該スペクトルピーク位置と元素エネルギーテーブルとを比較して同定元素を粗検出するステップと、検出されたスペクトルピーク位置に複数の元素が同定されている場合に、それらの元素のうちスペクトルデータ中にメイン線が存在する元素のみを選出するステップと、前記スペクトルデータの正規化処理を行い該正規化スペクトルデータと前記選出された元素に対応する指紋領域データベースとを比較し、スペクトル間の距離で表した一致度パラメータを求めるステップと、前記選出された元素のうち前記一致度パラメータの最も小さい元素を同定元素とするステップとで分析元素の同定方法を構成する。
Claim (excerpt)：
表面分析機器を用いて試料表面を分析し元素を同定する方法において、試料分析点から得られたスペクトルデータに基づいてスペクトルピークを検出し、該スペクトルピーク位置と元素遷移線エネルギーテーブルとを比較して同定元素を粗検出するステップと、検出されたスペクトルピーク位置に複数の元素が同定されている場合に、それらの元素のうち測定スペクトルデータ中にメイン線が存在する元素のみを選出するステップと、前記測定スペクトルデータと前記選出された元素に対応する指紋領域データベースとを比較し、スペクトル間の距離で表した一致度パラメータを求めるステップと、前記選出された元素のうち前記一致度パラメータの最も小さい元素を同定元素とするステップを備えていることを特徴とする表面分析機器による分析元素の同定方法。
IPC (4)：
G01N 23/22 ,  G01J 3/28 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227
FI (4)：
G01N 23/22 ,  G01J 3/28 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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