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J-GLOBAL ID：200903006726142150

ガス濃度測定方法及びその装置

Inventor： 佐々木 立雄 ,  栗原 正明 ,  中村 晃之 ,  内田 昌彦
Applicant, Patent owner： 東京電力株式会社 ,  日立電線株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995144809
Publication number (International publication number)：1996338805
Application date： Jun. 12, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ガス信号を劣化させる信号が重畳されても、寿命によりレーザが劣化していても正確にガス濃度を測定できる方法及びその装置を提供すること。【構成】 駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザ10を用い、所定の電流値を中心として駆動電流を変調することにより波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させ、そのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して得られるガス信号よりガス濃度を求めるガス濃度測定方法において、検出用ガスセル4にガス検出すべきガスを収容し、基準用ガスセル5に基準用のガスを収容し、これら両ガスセルを透過したレーザ光から得られる信号を差分して得られるガス信号からガス雰囲気圧力とガス濃度とを測定し、任意の圧力下でのガス濃度を測定することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザを用い、所定の電流値を中心として駆動電流を変調することにより波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させ、そのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して得られるガス信号よりガス濃度を求めるガス濃度測定方法において、検出用ガスセルにガス検出すべきガスを収容し、基準用ガスセルに基準用のガスを収容し、これら両ガスセルを透過したレーザ光から得られる信号を差分処理部で差分して得られるガス信号からガス雰囲気圧力とガス濃度とを測定し、任意の圧力下でのガス濃度を測定することを特徴とするガス濃度測定方法。

IPC (2)：

G01N 21/39 ,  G01N 21/35

FI (2)：

G01N 21/39 ,  G01N 21/35 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• ガス濃度測定方法およびその測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-052648   Applicant：東京電力株式会社, 日立電線株式会社
• 特開昭63-009842
  
• レーザー光源の寿命判定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-047115   Applicant：富士通株式会社
• 特開昭62-218843
  
• ガス検知器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-090191   Applicant：株式会社リキッドガス
• 特開平4-326041