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J-GLOBAL ID：200903006943616829
熱電変換デバイス
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (2)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003070200
Publication number (International publication number)：2004281666
Application date： Mar. 14, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：
【課題】集積した熱電対を備えると共に半導体製造装置を用いて形成した熱電変換デバイスに比して低コストで形成できる熱電変換デバイスを提供する。【解決手段】頂部12aと底部12bとを有する断面波形状の絶縁性シート12に対して互いに直列接続した複数の熱電対13を形成する。各熱電対13はその第1接点19を頂部12aに位置させると共にその第2接点20を底部12bに位置させる。また、この熱電変換デバイスにおける複数の熱電対13は真空蒸着法により形成した。即ち、熱電対13を半導体製造装置を用いずに形成している。従って、半導体製造装置のような大がかりな装置を用いずに熱電変換デバイスを製造できるため、半導体製造装置を用いて熱電変換デバイスを製造する場合と比べて、低コストで熱電変換デバイスを製造できる。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
断面波形状とされていることにより複数の頂部と複数の底部とが形成された絶縁性シートと、
前記絶縁性シートに対して互いに直列接続された複数の熱電対とを備え、
前記絶縁性シートの前記頂部に前記各熱電対の第1接点を設け、
前記絶縁性シートの前記底部に前記各熱電対の第2接点を設けたことを特徴とする熱電変換デバイス。
IPC (5)：
H01L35/32
, G01K7/02
, H01L35/20
, H01L35/34
, H02N11/00
H01L35/32 A
, G01K7/02 A
, G01K7/02 E
, H01L35/20
, H01L35/34
, H02N11/00 A
2F056KA01
, 2F056KA03
, 2F056KA14
, 2F056KA16
, 2F056KA18
