感光性組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996143091
Publication number (International publication number)：1997325498
Application date： Jun. 05, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】極短波長の紫外線、特にArFエキシマレーザーに対して高い光透明性を示し、アルカリ溶解性に優れるとともに十分なドライエッチング耐性を備えた、レジスト材料として好適な感光性組成物を提供する。【解決手段】シクロヘキサンおよびイソボルニルから選択された少なくとも1種の脂肪族環状化合物を主鎖に有し、この脂肪族環状化合物の側鎖に酸性置換基が導入されている重合体を含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

シクロヘキサンおよびイソボルニルから選択された少なくとも1種の脂肪族環状化合物を主鎖に有し、この脂肪族環状化合物の側鎖に酸性置換基が導入されている重合体を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-059751
特開平2-059751
パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-001807 Applicant：株式会社東芝

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