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J-GLOBAL ID：200903006971968242
多孔質セラミックス膜とその製造方法
Inventor：
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,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (2)：
須藤 政彦 (外1名)
, 須藤 政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995336036
Publication number (International publication number)：1997157062
Application date： Nov. 29, 1995
Publication date： Jun. 17, 1997
Summary：
【要約】【課題】 分子や微粒子を分離するために好適に使用される、圧力損失の少ない一次元貫通気孔を有する様々な組成のセラミックスフィルターを提供する。【解決手段】 膜の一方の表面からもう一方の表面に一次元的に貫通するナノメーターサイズの気孔を有する多孔質セラミックス膜であって、多孔質セラミックス膜がガラス、セラミックス、プラスチックス又は耐熱金属の基板上に形成されていることを特徴とする多孔質セラミックス膜。さらに、気相成長法によって基板上にセラミックス相と金属相からなる複合膜を形成し、次いで複合膜中の金属相をエッチングで除去することを特徴とする膜の一方の表面からもう一方の表面に一次元的に貫通するナノメーターサイズの気孔を有する多孔質セラミックス膜の製造方法。【効果】 ナノメーターオーダーの細孔径の一次元貫通孔を有する多孔質セラミックス膜を再現性良く合成することが可能となる。また、様々な基板上に形成することによって、ナノメーターサイズでの分離機能を発現させることができる。
Claim (excerpt)：
気相成長法によって成膜したセラミックス相と金属相からなる複合膜中の金属相を除去して得られる、膜の一方の表面からもう一方の表面に一次元的に貫通するナノメーターサイズの気孔を有する多孔質セラミックス膜であって、当該多孔質セラミックス膜がガラス、セラミックス、プラスチックス又は耐熱金属の基板上に形成されていることを特徴とする多孔質セラミックス膜。
IPC (7)：
C04B 38/04
, B01D 39/20
, B01D 71/02 500
, C04B 41/91
, C23F 1/00 103
, C23C 14/06
, C23C 14/34
C04B 38/04 B
, B01D 39/20 D
, B01D 71/02 500
, C04B 41/91 Z
, C04B 41/91 B
, C23F 1/00 103
, C23C 14/06 L
, C23C 14/34 A
