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J-GLOBAL ID：200903007005614465

周期性パターンのムラ検査方法

Inventor：
西田 真史

About 西田 真史

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牛草 昌人

About 牛草 昌人

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添田 正彦

About 添田 正彦

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岡沢 敦司

About 岡沢 敦司


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (1)： 高矢 諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998286120
Publication number (International publication number)：2000111492
Application date： Oct. 08, 1998
Publication date： Apr. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 光透過性の周期性パターンが形成されている試料から透過光像を画像入力してパターンのムラを検査する際、周辺部の透過光像が暗い又は明るい試料について、該周辺部に存在するムラをも確実に検出する。【解決手段】 試料の透過光像を撮像して試料画像データを入力し(ステップ?@)、該試料画像データを、ステップ?Aで光源のみを撮像して入力される光源画像データで除算して透過率画像データを作成し(ステップ?B)、該透過率画像データを平滑化後に強調処理して、その不均一部分を抽出すると共に、同透過率画像データから検査対象領域を選択し(ステップ?C〜?E)、平滑化の透過率画像データから該検査対象領域に含まれる前記不均一部分のみをムラとして検出する。
Claim (excerpt)：
光透過性の周期性パターンを有する試料に、裏側から光源により照明した際の透過光像を撮像して入力される試料画像データに基づいて、周期性パターンのムラを検出する周期性パターンのムラ検査方法において、前記試料画像データを、前記光源のみを撮像して入力される光源画像データで除算して透過率画像データを作成し、該透過率画像データを強調処理して、その不均一部分を抽出すると共に、同透過率画像データから検査対象領域を選択し、該検査対象領域に含まれる前記不均一部分のみをムラとして検出することを特徴とする周期性パターンのムラ検査方法。
IPC (5)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G02B 5/20 101 ,  H01J 9/14 ,  H01J 9/42
FI (5)：
G01N 21/88 645 Z ,  G01B 11/24 F ,  G02B 5/20 101 ,  H01J 9/14 G ,  H01J 9/42 A
F-Term (25)：
2F065AA49 ,  2F065BB18 ,  2F065CC00 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL49 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ33 ,  2F065UU05 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051EB01 ,  2G051ED01 ,  2G051ED14 ,  2G051FA04 ,  2H048BA00 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  5C012BE03 ,  5C027HH29
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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