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J-GLOBAL ID：200903007081895600

集光装置

Inventor： 青木 雅弘 ,  山▲崎▼ 隆
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068610
Publication number (International publication number)：1998270417
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は、チャンバ周囲の狭いスペースにも確実に設置することができる集光装置を提供する。【解決手段】筒体15の先端部に窓部151を設け、この窓部151内部に、該窓部151から取り込まれるプラズマ光の光軸を直角方向に反射させ三角プリズム16を配置し、さらに、筒体15の中空部に、三角プリズム16で偏向されたプラズマ光に対しほぼ垂直な入射端面を有するファイバーバンドル17を設けている。

Claim (excerpt)：

半導体プロセスにおけるプラズマエッチング時間終点検出装置に用いられる集光装置において、チャンバのビューポートに対応して位置される窓部を有する筒体と、この筒体の前記窓部内に設けられ該窓部から取り込まれる前記ビューポートを透過したプラズマ光の光軸を前記筒体の中空部側に反射させる偏向手段と、前記筒体の中空部に挿通されるとともに、前記偏向手段で偏向されたプラズマ光に対する入射端面を有するファイバーバンドルとを具備したことを特徴とする集光装置。

IPC (3)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  G02B 6/00

FI (3)：

H01L 21/302 E ,  C23F 4/00 F ,  G02B 6/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-065433
  
• 発光分光を用いたドライエッチング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-103649   Applicant：シャープ株式会社
• 特開昭59-040534