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J-GLOBAL ID：200903007107554882

投影露光装置及び露光方法

Inventor： 小原 斉 ,  堀 仁
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992146076
Publication number (International publication number)：1993343284
Application date： Jun. 08, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体装置などの製造で行う投影露光に関し、光源ハウス内の楕円鏡や他の光学部品に曇りが生じ難い投影露光装置及び露光方法の提供を目的とする。【構成】 投影露光装置は、露光用の光源6と光源6からの光を反射し集光させる楕円鏡7とを内部に有する光源ハウス5が、ファン4によって換気されるようになっており、該換気の空気吸入口に空気清浄剤1を配置してあるように構成する。更に、楕円鏡7を加熱するヒータ2を有するように構成する。12は投影露光装置本体である。露光方法は、クリーンルーム内で上記投影露光装置を用いて投影露光を行うように構成する。

Claim (excerpt)：

投影露光を行う装置であって、露光用の光源(6)と該光源(6)からの光を反射し集光させる楕円鏡(7)とを内部に有する光源ハウス(5)が、換気されるようになっており、該換気の空気吸入口に空気清浄剤(1)を配置してあることを特徴とする投影露光装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 縮小投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-086734   Applicant：菊池嘉文