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J-GLOBAL ID：200903007143040658

透過膜厚計測装置及びそれを備えた製膜装置

Inventor： 笹川 英四郎 ,  宮園 直之 ,  上野 茂一 ,  黒田 雅博
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 藤田 考晴 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001257886
Publication number (International publication number)：2003065727
Application date： Aug. 28, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 基板上に施された製膜の膜厚を自動的に迅速且つ容易に計測し、迅速に不良基板を発見して高品質な太陽電池等の基板を製作することが可能な透過膜厚計測装置及びそれを備えた製膜装置を提供すること。【解決手段】 計測対象である基板Xの面を挟んで対向配置された光源と受光用素子とを備え、該光源は蛍光灯から構成される光源ユニット2とされ、受光用素子は複数のフォトトランジスタ3とした。基板Xは搬送ライン6を移動し、各基板位置センサ7,8によって移動を感知されながら計測部5を通過する際に製膜Xfの計測が行われる構成とした。

Claim (excerpt)：

基板に施された製膜を計測する透過膜厚計測装置であって、前記基板の面を挟んで対向配置された光源と受光用素子とを備えてなることを特徴とする透過膜厚計測装置。

IPC (6)：

G01B 11/06 101 ,  C23C 14/54 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 ,  H01L 31/04

FI (7)：

G01B 11/06 101 Z ,  C23C 14/54 E ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 P ,  H01L 31/04 V ,  H01L 31/04 K

F-Term (42)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065FF46 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065PP15 ,  4K029BC08 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA03 ,  4K030AA06 ,  4K030BA30 ,  4K030GA12 ,  4K030GA14 ,  4K030HA13 ,  4K030JA01 ,  4K030KA39 ,  4K030LA16 ,  4M106AA10 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DJ04 ,  5F045AA08 ,  5F045AB04 ,  5F045DP23 ,  5F045EN04 ,  5F045GB13 ,  5F051CA15 ,  5F051CA21 ,  5F051KA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 薄膜の評価方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-237549   Applicant：松下電池工業株式会社