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J-GLOBAL ID：200903007380686562

調査/操作装置

Inventor：
ゲルト・カルル・ビニヒ

About ゲルト・カルル・ビニヒ

, 
ワルター・ヘーベルレ

About ワルター・ヘーベルレ


Applicant, Patent owner：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

About インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション


Agent (1)： 坂口 博 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998015362
Publication number (International publication number)：1998227801
Application date： Jan. 28, 1998
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：
【要約】【課題】 流体内に配置された試料の表面を調査するための原子間力顕微鏡として用いるのに適した調査/操作装置を提供すること。【解決手段】 この調査/操作装置は、カンチレバー(15)の第1の側に取り付けられ試料(30)の調査/操作中に容器流体(24)に浸される調査/操作ツール即ちチップ(26)を含む。カンチレバー(15)の反対側の少なくとも一部分は、調査/操作中に容器流体(24)に浸されない。
Claim (excerpt)：
カンチレバー(15)の第1の側に取り付けられ、試料(30)の調査/操作中に容器流体(24)に浸される調査/操作ツール(26)と、調査/操作ツール(26)を前記試料(30)に対して位置決めする位置決め手段(10)とを備える、容器流体(24)内に配置された試料(30)用の調査/操作装置であって、調査/操作中に、前記第1の側と反対にある前記カンチレバー(15)の第2の側の少なくとも一部分が、前記容器流体(24)に浸されないことを特徴とする調査/操作装置。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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