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J-GLOBAL ID：200903007382019741

X線検査方法及びその装置

Inventor：
寺岡 璋

About 寺岡 璋


Applicant, Patent owner：
株式会社テクノエナミ

About 株式会社テクノエナミ


Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999082501
Publication number (International publication number)：2000275191
Application date： Mar. 25, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：
【要約】【課題】 小型・高密度化するBGAやCSP等の電子部品の基板への実装状態、特に半田ボールの浮き上がり不良等を明確に判断することのできるX線検査装置を提供すること。【解決手段】 試料13を挟んで、X線を照射するX線源11とX線を検出するX線検出部12とが対向して配置され、X線源11から照射され、試料13を透過したX線がX線検出部12にて検出されるように構成されたX線検査装置において、X線検出部12のX線入射面12aが軸Sに対し平行となるように配置されると共に、X線入射面12aを常に同方向に向かせたまま、X線検出部12を、軸Sを中心軸として、揺動させる揺動手段16と、X線源11を、軸Sを回転軸として、X線検出部12に同期させて回転させる回転手段15とを装備する。
Claim (excerpt)：
X線を用いて試料の断面を撮影して検査するX線検査方法において、前記試料を挟んで、X線を照射するX線源とX線を検出するX線検出部とを対向させて配置し、前記X線検出部のX線入射面と前記断面とを平行にして、前記X線入射面と前記断面との平行関係を維持させたまま、前記X線検出部を、前記断面と同一面上にある直線を中心軸として、揺動させる一方、前記X線源を、前記断面と同一面上にある前記直線を回転軸として、前記X線検出部に同期させて回転させながら、前記X線源からX線を前記試料に照射し、前記試料を透過したX線を前記X線検出部にて検出することを特徴とするX線検査方法。
IPC (2)：
G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512
FI (2)：
G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B
F-Term (21)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA01 ,  2G001JA02 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001SA02 ,  5E319AC01 ,  5E319CD52
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • X線診断装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-277053   Applicant：株式会社島津製作所
  • 非破壊検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-221084   Applicant：株式会社島津製作所
  • 特開昭54-152489

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