表面プラズモンセンサーおよび暗線位置検出装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柳田征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997191496
Publication number (International publication number)：1999037934
Application date： Jul. 16, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】表面プラズモンセンサーの光検出手段を高速かつ高感度とし、さらに広ダイナミックレンジが得られるようにする。【解決手段】光検出手段7を、ガラス基板2と金属膜3との界面2a で全反射した光ビームの各ビーム成分を受光可能の、該ビーム成分の広がりの方向に延びる受光面と、該受光面の一端に接続された第一の電極21、他端に接続された第二の電極22を備えたフォトダイオードから構成する。界面2a で全反射した、全反射減衰角のビーム成分を含む光ビームが第一および第二の電極21, 22間に入射され、該両電極21, 22から出力される、暗線位置に依存する電流値を演算手段8に入力し、演算手段8において両電流値に基づいて暗線位置を求める。

Claim (excerpt)：

透明基板、および、この透明基板の一表面側に配された金属膜を備えてなるセンサユニットと、1次元方向に広がる多数のビーム成分を有する光ビームを発生させる光源と、前記光ビームを、該各ビーム成分が前記透明基板と前記金属膜との界面に対して互いに異なる入射角で入射するように、かつ、該界面で全反射するように、該界面に入射せしめる光学系と、前記界面で全反射した、前記各入射角に対応して互いに異なる反射角で反射する多数のビーム成分を含む光ビームを受光する光検出手段とを備え、前記界面に入射した光ビームが該界面で全反射減衰を示す角度を検出して、前記金属膜上に配される試料の分析を行う表面プラズモンセンサーにおいて、前記光検出手段が、前記界面で全反射した光ビームの各ビーム成分を受光可能の、該ビーム成分の広がりの方向に延びる受光面と、該受光面の一端に接続された第一の電極と、他端に接続された第二の電極とを備えたフォトダイオードからなり、前記第一の電極および第二の電極からそれぞれ出力される、前記両電極間に入射した光ビームの前記全反射減衰を示す角度で入射したビーム成分による前記受光面上の暗線位置に依存する、該光ビームにより生じる光電流の第一の積分光電流値および第二の積分光電流値の差に基づいて前記暗線位置を求める第一の演算手段を備え、該演算手段により求められた前記暗線位置から前記全反射減衰を示す角度を求めるものであることを特徴とする表面プラズモンセンサー。

IPC (4)：

G01N 21/27 , G01B 11/00 , G01B 11/26 , H01L 31/00

FI (4)：

G01N 21/27 C , G01B 11/00 A , G01B 11/26 Z , H01L 31/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

表面プラズモン共鳴を利用した測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-286189 Applicant：オリンパス光学工業株式会社, 理化学研究所
光演算装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-194704 Applicant：富士写真フイルム株式会社
表面プラズモン顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-043639 Applicant：理化学研究所

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