研磨布表面のドレス治具及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：加藤朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997172871
Publication number (International publication number)：1999000868
Application date： Jun. 13, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】研磨工程にて、研磨速度の安定化を図り、且つドレス時のダイヤモンド粒子の脱落の抑制とニッケルめっきの磨耗の抑制を図る。【解決手段】研磨布の目詰まりを除去するためのドレス治具の最表面に、平均粒子径の異なるダイヤモンド粒子を混合して固着する。但し、小粒径のダイヤモンド粒子4の上端部は、ニッケルめっき2から突出している。これにより、研磨布の凹部内に凝固した異物を有効に除去すると同時に、ニッケルめっき2の表面の磨耗を防ぐ。

Claim (excerpt)：

半導体ウェハの機械化学研磨法にて用いられる研磨布表面ドレス治具において、ドレス作用をもたらす一定以上の大きさの平均粒子径のダイヤモンド粒子と、前記ダイヤモント粒子の周囲に、前記ダイヤモンド粒子よりも平均粒子径の小さい粒子、もしくは前記ダイヤモンド粒子よりも薄いプレートを有する、ことを特徴とする研磨布表面ドレス治具。

IPC (3)：

B24D 3/00 320 , B24D 3/06 , C25D 15/02

FI (3)：

B24D 3/00 320 B , B24D 3/06 B , C25D 15/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平2-145261
特開昭60-092406
電着砥石
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-272063 Applicant：三菱マテリアル株式会社

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