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J-GLOBAL ID：200903007591677594

板状のワークの温度制御方法及びその装置

Inventor： 秋山 恭一 ,  内田 学 ,  小金井 真 ,  松本 陽一
Applicant, Patent owner： 株式会社朝日工業社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000268424
Publication number (International publication number)：2002072492
Application date： Aug. 31, 2000
Publication date： Mar. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 板状のワークを極短時間に設定温度に調整できる板状のワークの温度制御方法及びその装置を提供する。【解決手段】 露光装置11等に移送する精密加工が施される板状のワークとしてのガラス基板13を設定温度にするための板状のワークの温度制御方法において、ガラス基板13の表面に前後左右に間隔を置いて多数のノズル27を設け、その各ノズル27から温度調整された温調空気をガラス基板13に向けて吹き出してガラス基板13を設定温度に調整するようにしたものである。

Claim (excerpt)：

露光装置等に移送する精密加工が施される板状のワークを設定温度にするための板状のワークの温度制御方法において、板状のワークの表面に前後左右に間隔を置いて多数のノズルを設け、その各ノズルから温度調整された温調空気をワークに向けて吹き出してワークを設定温度に調整することを特徴とする板状のワークの温度制御方法。

IPC (3)：

G03F 7/20 501 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (3)：

G03F 7/20 501 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

F-Term (11)：

2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JD19 ,  2H090LA04 ,  2H097BA02 ,  2H097BA10 ,  2H097LA12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭59-195829
  
• プロキシミティ露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-189272   Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社
• 電着レジスト乾燥装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-147818   Applicant：大日本印刷株式会社
• 特開昭59-195829
  
• 特開昭59-195829