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J-GLOBAL ID：200903034419851989

プロキシミティ露光装置

Inventor： 高見 重博 ,  小塚 敏幸 ,  楡井 享司 ,  峯岸 学 ,  大塚 知夫
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 飯塚 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997189272
Publication number (International publication number)：1999026364
Application date： Jun. 30, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ガラス基板及びフォトマスクを常時所望の温度に調節する。【解決手段】 フォトマスクの温度調節手段はフォトマスクの上面方向に設けられたエアー吹き出し口であって、このエアー吹き出し口から吹き出すエアーの方向をルーバによって可変し、フォトマスク全面にエアーを供給するように構成されている。ガラス基板の温度調節手段はローダユニット上でガラス基板に冷却用のクーリングプレートを接触させることによって、ガラス基板の温度を調節する。また、別のガラス基板の温度調節手段はガラス基板をローダユニットから露光チャック上に搬送する間に、ガラス基板の上面から冷却用のエアーをガラス基板表面に吹きつけることによってガラス基板の温度を調節する。

Claim (excerpt)：

露光用のフォトマスクの温度を調節する温度調節手段を備えたプロキシミティ露光装置において、前記温度調節手段がフォトマスクの上面方向に設けられたエアー吹き出し口であって、このエアー吹き出し口から吹き出すエアーの方向をルーバによって可変し、前記フォトマスク全面にエアーを供給するように構成されていることを特徴とするプロキシミティ露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 509 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-132445
  
• 自動露光機の吸着式基板搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-275392   Applicant：イビデン株式会社
• 特開平4-115516
  
• 特開平2-132445
  
• 特開平2-132445