静電容量式加速度センサ及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994267804
Publication number (International publication number)：1996129026
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】小型でしかも機械的強度に優れた静電容量式加速度センサを提供すること。【構成】可動電極9を備えるマス部6を、p型単結晶シリコン基板2の表面に形成された凹部15内に変位可能に配置する。可動電極9に相対する位置に固定電極14を離間させて配設する。マス部6をその下面側から支持柱7によって弾性的に支承し、その側面側から4数の梁8によって弾性的に支承する。この構成であると、マス部6のダンピング特性が改善される。

Claim (excerpt)：

可動電極(9)を備えるマス部(6)をシリコン基板(2)表面に形成された凹部(15)内に変位可能に配置し、前記可動電極(9)に相対する位置に固定電極(14)を離間させて配設した静電容量式加速度センサ(1)において、前記マス部(6)をその下面側から弾性的に支承する支持柱(7)と、同マス部(6)をその側面側から弾性的に支承する複数の梁(8)とを備えた静電容量式加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 , H01L 29/84

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

静電容量の変化を利用したセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-203875 Applicant：岡田和廣
特開平2-271261
加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-076978 Applicant：株式会社日立製作所

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