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J-GLOBAL ID：200903007677527560

研磨パッドおよび板状材の研磨方法

Inventor： 松本 勝博
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000187713
Publication number (International publication number)：2002001650
Application date： Jun. 22, 2000
Publication date： Jan. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】研磨欠点が発生しにくく、高い研磨速度が得られる研磨パッドを得る。【解決手段】熱硬化性樹脂シートの研磨パッド1で、荷重1.82MPaにおける熱変形温度が100°C以上であり弾性率が1.5GPa未満であり、吸水率が0.2%未満であり、表面の主要な領域に幅0.5〜5mmの溝2と幅0.5〜5mmのランド3が交互に形成されたことを特徴とする研磨パッドを使用する。

Claim (excerpt)：

熱硬化性樹脂シートからなる研磨パッドであって、該熱硬化性樹脂シートはJIS K7207材料試験規格に基づく荷重1.82MPaにおける熱変形温度が100°C以上であり、JIS K7203材料試験規格に基づく弾性率が1.5GPa以上であり、JIS K6911材料試験規格に基づく吸水率が0.2%未満であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (5)：

B24B 37/00 ,  C08J 5/14 CER ,  H01L 21/304 622 ,  C08L 45:00 ,  C08L 65:00

FI (5)：

B24B 37/00 C ,  C08J 5/14 CER ,  H01L 21/304 622 F ,  C08L 45:00 ,  C08L 65:00

F-Term (13)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  4F071AA21 ,  4F071AF10Y ,  4F071AF20Y ,  4F071DA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 研磨パッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-248487   Applicant：帝人メトン株式会社