投影露光装置及び露光方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：猪熊克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998239562
Publication number (International publication number)：2000058436
Application date： Aug. 11, 1998
Publication date： Feb. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】投影光学系を液浸状態で使用した場合でも、通常状態で使用した場合と比べて、投影光学系による結像位置と、光軸付近の結像性能の変化の少ない投影露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】原版1上に描画されたパターン1aを基板5の感光面5aに転写する投影光学系2を有する投影露光装置において、投影光学系2の最も基板5側のレンズ面と感光面5aとの空間に、補助レンズ4が挿脱可能に配置され、補助レンズ4の下面と感光面5aとの空間は、液浸可能に形成され、補助レンズ4の原版1側レンズ面の曲率半径R1は、原版1側レンズ面から感光面5aまでの光軸Z上の距離d1にほぼ等しくなるように形成される。

Claim (excerpt)：

原版上に描画されたパターンを基板の感光面に転写する投影光学系を有する投影露光装置において、前記投影光学系の最も基板側のレンズ面と前記感光面との空間に、補助レンズが挿脱可能に配置され、該補助レンズの下面と前記感光面との空間は、液浸可能に形成され、前記補助レンズの原版側レンズ面の曲率半径は、該原版側レンズ面から前記感光面までの光軸上の距離にほぼ等しくなるように形成されたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G02B 13/24 , G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 512 , G02B 13/24 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 G

F-Term (14)：

2H087KA21 , 2H087LA00 , 2H087NA04 , 2H087PA01 , 2H087PB01 , 2H087QA01 , 2H087QA03 , 5F046BA03 , 5F046CA04 , 5F046CB12 , 5F046CB25 , 5F046CB26 , 5F046CB27 , 5F046DA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

液浸式投影露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-296518 Applicant：キヤノン株式会社
構成要素レンズ間にギャップを有する屈折レンズアセンブリを含む光学投射システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-184119 Applicant：ゼネラルシグナルコーポレイション
特開昭58-055933

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