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J-GLOBAL ID：200903007804537376

位置検出方法および装置

Inventor： 古賀 慎一郎 ,  鵜澤 繁行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995291651
Publication number (International publication number)：1997115815
Application date： Oct. 16, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 分解能の高い光学系を用いて入力されたマーク信号においても、高精度に位置を検出する位置検出方法および装置を提供する。【解決手段】 マークからの2次元像の信号を1方向に積算して1次元信号を得る積算工程2と、1次元信号を用いてマークの位置を検出する位置検出工程3とを備え、マークとして、その境界部分に対応する1次元信号部分の信号値が緩やかに変化する形状のものを用いる。

Claim (excerpt)：

マークからの2次元像の信号を1方向に積算して1次元信号を得る積算工程と、前記1次元信号を用いて前記マークの位置を検出する位置検出工程とを備え、前記マークとして、その境界部分に対応する前記1次元信号部分の信号値が緩やかに変化する形状のものを用いることを特徴とする位置検出方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (4)：

H01L 21/30 522 Z ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 525 W

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 位置検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-140679   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平4-032219