位置検出装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸島儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993140679
Publication number (International publication number)：1994347215
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Dec. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】位置を検出するために、配列された光電変換素子上にパターンを投影する手段を有する位置検出装置において、画素分解能以下で高精度な位置合わせ精度を可能にした位置検出装置を提供することである。【構成】位置を検出するために、配列された光電変換素子上に位置検出用マークからの光パターンを投影する手段を有する位置検出装置において、位置検出用マークの位置ずれ計測方向と該光電変換素子の配列方向の1方向とが平行でないあるいは直交しない角度に設定する。

Claim (excerpt)：

位置を検出するために、配列された光電変換素子上に位置検出用マークからの光パターンを投影する手段を有する位置検出装置において、位置検出用マークの位置ずれ計測方向と該光電変換素子の配列方向の1方向とが平行でないあるいは直交しない角度に設定することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 , G05D 3/12 , H01L 21/027 , H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-076405
特開昭63-147280
特開昭54-029977

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