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J-GLOBAL ID：200903007885377343

インクジェットヘッド及びその製造方法

Inventor：
金原 滋

About 金原 滋


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 高野 明近 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000186541
Publication number (International publication number)：2002001972
Application date： Jun. 21, 2000
Publication date： Jan. 08, 2002
Summary：
【要約】【目的】 静電方式のインクジェットヘッドにおいて、対向して配置される振動板と電極間の振動室を封止する際、封止剤から発生する気体あるいは封止が硬化収縮することによる振動板の変形が生じないようにする。【構成】 インクジェットヘッドは、ノズル孔26が形成されたノズル板25、底壁が振動板21によって形成された吐出室20を有する吐出室基板16、保護膜15で覆われた電極14が形成された電極基板11からなり、静電気力により振動板21を変形させインク液滴を吐出する。振動板21と電極14間の振動室17と外部を連通する連通孔は、CVD法等により酸化膜23を堆積させて封止する。酸化膜を電極14の熱酸化によって形成することもできる。
Claim (excerpt)：
インク液滴を吐出するノズル孔を有するノズル板と、前記ノズル孔に連通し少なくとも一方の壁が振動板によって形成された吐出室を有する吐出室基板と、前記振動板と対向する位置に電極を有する電極基板とからなり、前記振動板と前記電極間に振動室が形成され、前記振動板を静電気力により変形させるインクジェットヘッドにおいて、前記振動室と外部を連通する連通孔が酸化膜により封止されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2)：
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
F-Term (9)：
2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  2C057BA15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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