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J-GLOBAL ID:200903057785153526

インクジェットヘッド及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 稲元 富保
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999222444
Publication number (International publication number):2000117982
Application date: Aug. 05, 1999
Publication date: Apr. 25, 2000
Summary:
【要約】【課題】 工程増加を招くことなく、外部回路への接続手段を容易に接続できる外部電極を形成できない。【解決手段】 振動板25と同じ厚さの振動板用外部電極26を振動板25と同一平面であるシリコン基板21上に設け、振動板用外部電極26と複数の個別電極33の個別電極用外部電極34との段差が2μm以内とした。
Claim (excerpt):
インク滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室と、この吐出室の少なくとも一つの壁面を形成する振動板と、この振動板に対向配置した電極とを有し、前記振動板を電極との間で発生させる静電力によって変形させて前記インク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、振動板用外部電極を前記振動板と同一平面に設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2):
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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