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J-GLOBAL ID：200903007950650524

酸化チタン薄膜の形成方法

Inventor： 小林 孝司 ,  井上 元春 ,  早稲田 隆太
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 西 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997158222
Publication number (International publication number)：1999011981
Application date： Jun. 16, 1997
Publication date： Jan. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高品質な酸化チタン被膜を、基体表面に高速、高収率、かつ安定して連続的に被覆できるようにすること。【解決手段】 有機チタン化合物、チタン塩化物および/またはそれらの複合化合物からなる非キレートチタン化合物を出発原料として、基体表面に酸化チタン被膜を析出させる方法において、1モルの非キレートチタン化合物に対し0.02〜1.5モルの割合のキレート結合し得る化合物を準備し、両化合物混合蒸気をキャリアーガスによって基体表面に導く過程で反応せしめ、更に基体表面上において、該化合物を分解するとともに、基体表面に酸化チタンを析出させる。

Claim (excerpt)：

有機チタン化合物、チタン塩化物、および/またはそれらの複合化合物からなる非キレートチタン化合物を出発原料として、基体表面に酸化チタン被膜を析出させる方法において、1モルの非キレートチタン化合物に対し0.02〜 1.5モルの割合のキレート結合し得る化合物を準備し、両化合物の混合蒸気をキャリアーガスによって基体表面に導く過程で反応せしめ、更に基体表面上において、該化合物を分解するとともに、基体表面に酸化チタンを析出させることを特徴とする酸化チタン薄膜の形成方法。

IPC (5)：

C03C 17/245 ,  B01J 21/06 ,  C01G 23/04 ,  C23C 16/40 ,  G02B 1/10

FI (5)：

C03C 17/245 Z ,  B01J 21/06 M ,  C01G 23/04 C ,  C23C 16/40 ,  G02B 1/10 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 窓用ガラス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-228307   Applicant：日本曹達株式会社, 財団法人神奈川科学技術アカデミー, 藤嶋昭, 橋本和仁, 彌田智一
• 特開昭55-090441
  
• 特開昭55-090441
  
• 特開昭55-090441