シート貼付装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山口義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007329531
Publication number (International publication number)：2009152424
Application date： Dec. 21, 2007
Publication date： Jul. 09, 2009
Summary：

【課題】押圧力を付与して接着シートを被着体に貼付する際に、これらの間に空気が混入することがなく、被着体の面に接着シートを貼付すること。【解決手段】半導体ウエハWを支持するテーブル11と、前記半導体ウエハWに対して接着シートSを押圧する押圧部材14とを備えてシート貼付装置10が構成されている。押圧部材14は、自重によって中央部が外周側に対して半導体ウエハWに接近する傾斜面若しくは曲面形状となる押圧面22と、その外周側に連設された変形許容部23とからなる。変形許容部23は、第1の空間C1と第2の空間C2の圧力差によって変形し、当該変形により、押圧面22が下降して接着シートに押圧力を付与する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被着体を支持するテーブルと、前記被着体に沿って配置された接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、前記押圧部材は、自重によって被着体に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状となる押圧面と、この押圧面の外周側に連設されるとともに無負荷状態で当該押圧面と略同一平面内に位置する初期形状を備えた変形許容部とからなり、前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を介して前記接着シートに押圧力を付与することを特徴とするシート貼付装置。

IPC (1)：

H01L 21/683

FI (1)：

H01L21/68 N

F-Term (6)：

5F031CA02 , 5F031DA15 , 5F031HA78 , 5F031MA35 , 5F031MA37 , 5F031NA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特許第2945089号公報
真空に依る、ウエハーテープ貼り機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-225189 Applicant：有限会社マイティエンジニアリング
半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-318647 Applicant：株式曾社塩山製作所

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Cited by examiner (5)

真空に依る、ウエハーテープ貼り機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-225189 Applicant：有限会社マイティエンジニアリング
半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-318647 Applicant：株式曾社塩山製作所
特開昭63-238182

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