Pat
J-GLOBAL ID：200903008033119840
探針プロ-ブカ-ド及びウエハ-検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
堀 城之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999011447
Publication number (International publication number)：2000216204
Application date： Jan. 20, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、ウエハーレベルの複数の固体撮像素子チップに対する光学特性検査を同時に短時間でかつ低コストで実行する探針プローブカード及びウエハー検査方法を提供することを課題とする。【解決手段】 細長いチップ形状を有し1列構成または2列構成の検査パットがチップの端側の一方または両方に形成されたウエハーレベルの複数の固体撮像素子チップに対する光学特性検査を同時に実行する探針プローブカードであって、カードの同一平面上に形成された複数の探針プローブ群を有し、前記複数の探針プローブ群の各々を構成する探針プローブは、針先が相互に交差しないように千鳥配列され、前記複数の探針プローブ群の各々は、隣接する探針プローブ群とプローブ探針先が交差しないように所定距離だけ離間されている探針プローブ配置構造を備えている。
Claim (excerpt)：
細長いチップ形状を有し1列構成または2列構成の検査パッドがチップの端側の一方または両方に形成されたウエハーレベルの複数の固体撮像素子チップに対する光学特性検査を同時に実行する探針プローブカードであって、カードの同一平面上に形成された複数の探針プローブ群を有し、前記複数の探針プローブ群の各々を構成する探針プローブは、針先が相互に交差しないように千鳥配列され、前記複数の探針プローブ群の各々は、隣接する探針プローブ群とプローブ探針先が交差しないように所定距離だけ離間されている探針プローブ配置構造を備えていることを特徴とする探針プローブカード。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/66 B
, G01R 1/073 E
2G011AA17
, 2G011AC11
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106AB09
, 4M106BA01
, 4M106BA04
, 4M106BA14
, 4M106CA17
, 4M106DD04
, 4M106DD10
, 4M106DD23
