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J-GLOBAL ID：200903008093762815

集積型SPMセンサ及びその製造方法

Inventor：
神谷 宜孝

About 神谷 宜孝

, 
松本 一哉

About 松本 一哉


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994244865
Publication number (International publication number)：1996086789
Application date： Sep. 14, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 AFMと同様な構成によりSNOM測定の可能な集積型SPMセンサとその製造方法を提供する。【構成】 レバー支持部1a上に酸化シリコン分離層2を介してレバー構造体部3を形成し、このレバー構造体部3の自由端側に探針部6を形成して、カンチレバー部17を構成する。そして探針部6とその近傍の表面にフォトダイオードを構成するP層9を、探針部6の先端には形成せず裾部から頂点に行くにしたがって薄く形成する。またP+ 層10をP層9に接して且つレバー構造体部3の表面にも接して形成し、N+ 層11をP+ 層10から離してレバー構造体部3の表面部に形成し、そしてP+ 層10とN+ 層11にはコンタクトホール12,13を介して電極部14,15を接続して、集積型SPMセンサを構成する。
Claim (excerpt)：
自由端に探針部を有するカンチレバー部と、該カンチレバー部の基端を支持する支持部と、前記探針部に設けられた光検出機構とを備えていることを特徴とする集積型SPMセンサ。
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (2)
  • 近接視野顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-299236   Applicant：日本電信電話株式会社
  • 原子力顕微鏡用ピエゾ抵抗性片持ばり構造体
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-346134   Applicant：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ

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