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J-GLOBAL ID：200903008166232615

窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法

Inventor： 斎 藤 真 司 ,  小野村 正 明 ,  ジョン レニー ,  波多腰 玄 一 ,  藤 本 英 俊
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997206279
Publication number (International publication number)：1998154851
Application date： Jul. 31, 1997
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 簡単な工程で良好なへき開面を形成することができる窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 窒化物系化合物半導体のへき開面に沿って応力集中を生ずるように、楔形のエッチング溝を形成し、さらに、端部を基板から分離することにより、へき開が基板に誘導されることなく、発光層が自然へき開により、良好なミラーを形成することができる。また、端面の一部を基板から分離することにより基板からの歪みを受けづらくして、歪みによる劣化を防止することができる。

Claim (excerpt)：

基板と、基板上に形成された第1のコンタクト層と、この第1のコンタクト層上に積層形成された電流狭窄層と、この電流狭窄層上に積層形成された窒素を含む化合物からなる発光層と、この発光層上に積層形成された第2のコンタクト層と、前記第1のコンタクト層および第2のコンタクト層に接触するように形成された第1および第2の電極とを備え、前記基板と前記発光層の側面との間に凹部が形成されていることを特徴とする窒化物系化合物半導体発光素子。

IPC (2)：

H01S 3/18 ,  H01L 33/00

FI (3)：

H01S 3/18 ,  H01L 33/00 C ,  H01L 33/00 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-077385
  
• 半導体レーザ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-016313   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー