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J-GLOBAL ID:200903008237795675
有機EL素子の封止膜、有機EL表示パネルおよびその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004349658
Publication number (International publication number):2006164543
Application date: Dec. 02, 2004
Publication date: Jun. 22, 2006
Summary:
【課題】 衝撃等に対する耐久性を維持しつつ、クラックの発生を効果的に防止することができ、これにより有機EL素子を長期にわたって湿気、酸素から保護することにより信頼性を向上させることができる封止膜、および有機EL表示パネル並びにその製造方法を提供する。【解決手段】 基板3に搭載された有機EL素子4を被覆して封止する。窒化シリコンからなる第2バリヤ層51と、この第2バリヤ層51の内側に配設され当該バリヤ層53が積層される窒酸化シリコンからなる応力緩和層52とを含む複数層から構成される。【選択図】 図3
Claim (excerpt):
基板に搭載された有機EL素子を被覆して封止する封止膜において、
窒化シリコンからなるバリヤ層と、このバリヤ層の内側に配設され当該バリヤ層が積層される窒酸化シリコンおよび酸化シリコンの少なくともいずれか一方の層からなる応力緩和層とを含む複数層から構成されることを特徴とする有機EL素子の封止膜。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (6):
3K007AB12
, 3K007AB13
, 3K007BB02
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3K007FA02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
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保護膜製造方法および有機EL素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-220932
Applicant:株式会社島津製作所
Cited by examiner (3)
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プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-172415
Applicant:三菱重工業株式会社
-
表示装置及び表示装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-163958
Applicant:ソニー株式会社
-
発光装置およびその作製方法、および製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-376385
Applicant:株式会社半導体エネルギー研究所
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