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J-GLOBAL ID：200903008341085817

フィールドエミッターを有するデバイス及びその製造方法

Inventor： 塩見 弘 ,  西林 良樹 ,  鹿田 真一
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995211089
Publication number (International publication number)：1997045215
Application date： Jul. 27, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】効率的にダイヤモンド表面から電子を放出させることが可能な電子デバイスを提供する。【解決手段】支持基板と、支持基板の一方の面上に配置されたカソード電極と、支持基板のいずれかの面上に配置され、カソード電極と電気的に接続する1つ以上の第1のダイヤモンド部と、第1のダイヤモンド材料層を有する面と同じ支持基板の面上に配置され、複数の錘状又は棒状の部分を有する第2のダイヤモンド部と、第1のダイヤモンド部及び第2のダイヤモンド部から所定の距離を隔て、且つ、第2のダイヤモンド部との間が空間であるように配置されるアノードとを備えることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

支持基板と、前記支持基板の一方の面上に配置されたカソード電極と、前記支持基板のいずれかの面上に配置され、前記カソード電極と電気的に接続する1つ以上の第1のダイヤモンド部と、前記第1のダイヤモンド材料層を有する面と同じ前記支持基板の面上に配置され、複数の錘状又は棒状の部分を有する第2のダイヤモンド部と、前記第1のダイヤモンド部及び前記第2のダイヤモンド部から所定の距離を隔て、且つ、前記第2のダイヤモンド部との間が空間であるように配置されるアノードとを備えることを特徴とする電子デバイス。

IPC (2)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

FI (4)：

H01J 1/30 A ,  H01J 1/30 C ,  H01J 9/02 B ,  H01J 9/02 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 電子エミッタ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-176973   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 空乏モード電子放出装置用の電子源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-029683   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
• 電子デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-238571   Applicant：住友電気工業株式会社