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J-GLOBAL ID：200903008429062086

X線検出器

Inventor： 高橋 進一 ,  杉崎 克己 ,  永田 浩 ,  近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994199708
Publication number (International publication number)：1996062398
Application date： Aug. 24, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】真空度の低下などの異常事態の際にも検出器の破損及び劣化を防止することが出来る高電圧遮断保護装置付きのX線二次元検出器を提供する。【構成】真空容器8内に、試料のX線像を光電変換・電子増倍するマイクロチャンネルプレート(MCP)11,12および電子像を可視光に変換する蛍光面13が接地される。MCP出射側12と、MCP入射側11および蛍光面13との間に高電圧が印加される。一方、真空容器8内の真空度は真空度計16により検知され、切換手段(スイッチング回路)制御系17が真空度低下を検出したら直ちに、MCP入射側11および蛍光面13に印加されている高電圧を接地レベルに落とす。

Claim (excerpt)：

少なくとも、入射するX線像を二次電子像に変換する光電変換手段と、この二次電子像を検出する検出手段とを真空容器内に設置し、前記光電変換手段と前記検出手段との間に二次電子を加速するための高電圧を印加するX線検出器において、前記真空容器内の真空度をモニターする真空計と、前記高電圧を発生する高電圧発生手段と、前記高電圧発生手段により前記光電変換手段と前記検出手段との間に印加される高電位差を低下させる切替手段と、前記真空計の真空度が予め定めた真空度まで低下したとき、前記切替手段に対して前記高電位差を低下させることを指示する切替信号を出力する制御手段と、を備えたことを特徴とするX線検出器。

IPC (2)：

G21K 7/00 ,  H01J 31/50

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-246500
  
• 特開平3-021883
  
• 特開平3-071544
  
• 真空装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-275827   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭48-038971