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J-GLOBAL ID:200903008502032379

サーキュレータを有する走査型顕微鏡および共焦点走査型顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 木村 高久
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001185233
Publication number (International publication number):2002122786
Application date: Jun. 19, 2001
Publication date: Apr. 26, 2002
Summary:
【要約】【課題】走査型顕微鏡法または共焦点走査型顕微鏡において、主ビームスプリッタでの励起光または検出光の損失を除去する。【解決手段】走査型顕微鏡(100)は、少なくとも1つの照射源(4)、対物レンズ(10)および少なくとも1つの検出器(12)を備えている。光サーキュレータ(14)は、少なくとも1つの照射源(4)と、対物レンズ(10)と、少なくとも1つの検出器(12)との間に配置される。別の実施形態において、走査型顕微鏡(100)は、共焦点顕微鏡として構成される。
Claim (excerpt):
少なくとも1つの照射源(4)、対物レンズ(10)および少なくとも1つの検出器(12)を有する走査型顕微鏡(100)であって、光サーキュレータ(14)が、前記少なくとも1つの照射源(4)と、前記対物レンズ(10)と、前記少なくとも1つの検出器(12)との間に配置されることと、前記光サーキュレータ(14)が、前記照射源(4)から、検査対象である試料(11)が関連付けられている対物レンズ(10)まで光を伝送し、かつ前記試料(11)から前記検出器(12)まで進む光を供給することを特徴とする、走査型顕微鏡(100)。
F-Term (10):
2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AD32 ,  2H052AF14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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