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J-GLOBAL ID：200903008560038212
方向性結合器の特性測定方法及びその方法を用いた方向性結合器及びこの方向性結合器を備えたプラズマ処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000366398
Publication number (International publication number)：2002168892
Application date： Nov. 30, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：
【要約】【課題】 方向性及び結合度に含まれる誤差を低減するとともに、複素数で求める。また、方向性及び結合度の位相関係を明らかにする。【解決手段】 反射波を発生するn種(n≧3)以上のインピーダンス終端器を用い、方向性結合器内部の進行波電圧Vs及び反射波電圧Vrと、方向性結合器の出力電圧vsとvrとの位相関係、また、VsとVr間の位相関係が分かるので、方向性結合器における反射率Γ(=Vr/Vs)、方向性結合器におけるインピーダンス、さらには、反応容器の入力インピーダンスZpが方向性結合器のみで算出され、反応容器のインピーダンスZpをモニタリングすることができる。
Claim (excerpt)：
電源の出力端を方向性結合器の入力端に接続し、方向性結合器の出力端をインピーダンス終端器の入力端に接続し、該方向性結合器の内部を伝播する電磁波に応じた方向性結合器の出力信号を測定することによって該方向性結合器の結合度及び方向性を測定する方向性結合器の特性測定方法であって、前記インピーダンス終端器として、反射波を発生するインピーダンス終端器を用いることを特徴とする方向性結合器の特性測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (5)：
2G028AA01
, 2G028BB10
, 2G028BF00
, 2G028CG15
, 2G028CG19
Cited by applicant (6)
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