マイクロレンズ形成用ポジ型感光材料

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993281132
Publication number (International publication number)：1994201901
Application date： Nov. 10, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】固体撮像素子、液晶表示素子の製造時に用いられるマイクロ集光レンズ用材料を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール系共重合体、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤として加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性,耐溶剤性を付与させる熱硬化剤及び溶剤からなるマイクロレンズ形成用ポジ型感光材料。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール系共重合体、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤として加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性,耐溶剤性を付与させる熱硬化剤及び溶剤からなることを特徴とするマイクロレンズ形成用ポジ型感光材料。

IPC (5)：

G02B 1/04 , G02B 3/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 511 , G03F 7/039

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平3-223702
ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-073613 Applicant：東京応化工業株式会社
特開平4-352101

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