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J-GLOBAL ID：200903008610794188

微小装置の製造方法

Inventor：
岩崎 靖和

About 岩崎 靖和


Applicant, Patent owner：
日産自動車株式会社

About 日産自動車株式会社


Agent (1)： 中村 純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998097590
Publication number (International publication number)：1999294948
Application date： Apr. 09, 1998
Publication date： Oct. 29, 1999
Summary：
【要約】【課題】微小構造体が支持基板の表面に固着することがなく、かつ凍結時の体積変化による破損を有効に防止できる微小装置の製造方法を提供する。【解決手段】凍結乾燥の際に凍結と昇華による除去がなされる液体として、水と、水に溶解し、かつ凍結時の体積変化率が負の液体(凍結時に体積が収縮する液体)と、を混合した液体を用いる構成。凍結時に体積が膨張する水と体積が収縮する液体との混合液を用いることにより、凍結時における液体の体積変化が非常に小さくなるので、体積変化による微小構造体の破壊を防止できる。
Claim (excerpt)：
少なくとも支持基板と犠牲層と構造膜とが積層された多層構造基板を用い、上記犠牲層の少なくとも一部をエッチング除去した後、上記支持基板と上記構造膜間の空隙部分に存在する液体を凍結させた後に昇華させて除去する、いわゆる凍結乾燥を行なうことにより、上記構造膜に上記支持基板と微小間隔を隔てて対向する構造体を形成する微小装置の製造方法であって、上記凍結乾燥の際に凍結ならびに昇華による除去がなされる液体が、水と、水に溶解し、かつ凍結時の体積変化率が負の液体と、を混合した液体であることを特徴とする微小装置の製造方法。
IPC (2)：
F26B 5/06 ,  H01L 21/304 651
FI (2)：
F26B 5/06 ,  H01L 21/304 651 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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