微小構造を有する装置の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995063906
Publication number (International publication number)：1996258035
Application date： Mar. 23, 1995
Publication date： Oct. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】微小装置を破損することなく、均一で半透明で保持時間の長い保護膜を形成し、しかも工数が少なく設備投資及びコストが安く汚染の心配が少なく保護膜の除去が容易かつ完全で検査が不要であり、かつ歩留まりが高く生産性に優れた一時的な保護膜の形成方法を提供する。【構成】微小構造を有する装置の製造において、該微小構造を形成した一主面103に常温・常圧下において固体の昇華性物質の融液被膜(ナフタレン融液陵104)を形成し、その後該融液被膜を冷却して少なくとも固相を有する構造の保護膜(ナフタレン固体被膜105)を形成し、しかる後に該保護膜を気化除去する工程を含む製造方法であって、上記融液被膜と上記微小構造との濡れ性を良くする工程を具備していることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

微小構造を有する装置の製造において、該微小構造を形成した一主面に、常温・常圧下において固体の昇華性物質の融液被膜を形成し、その後、該融液被膜を冷却して少なくとも固相を有する構造の保護膜を形成し、しかる後に該保護膜を気化、除去する工程を含む製造方法であって、上記融液被膜と上記微小構造との濡れ性を良くする工程を具備していることを特徴とする微小構造を有する装置の製造方法。

IPC (5)：

B28D 5/00 , B28D 7/04 , H01L 21/312 , H01L 21/301 , H01L 29/84

FI (7)：

B28D 5/00 Z , B28D 7/04 , H01L 21/312 Z , H01L 29/84 B , H01L 21/78 Q , H01L 21/78 L , H01L 21/78 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこれを用いた走査型探針顕微鏡並びに情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-191631 Applicant：キヤノン株式会社
特公平2-023324
特開昭63-041855

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