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J-GLOBAL ID：200903008669645801

位置決め装置

Inventor： 江本 圭司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001248977
Publication number (International publication number)：2003058258
Application date： Aug. 20, 2001
Publication date： Feb. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】 真空雰囲気における外部との振動絶縁性が高く、振動特性を保ちながら、位置決め対象の温度制御を可能にする。【解決手段】 真空雰囲気内に設置されて、底板110に設置の電磁石と天板111に設置の電磁石とを組み合わせバネ要素がほぼ無視できる支持装置を備え、外部から位置決め対象物である基板114の非接触による位置決め駆動を可能にする可動子側の磁石120及び固定子側のコイル119を備えるリニアモータを有し、底板110上に支持部材211で支持された輻射板200、ペルチェ素子201及び冷却板202と、輻射板200に対向し天板111に設置した黒体203とを介して非接触にて、非接触熱コントローラを用い基板114の温度を外部より制御する。

Claim (excerpt)：

真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、第1の構造体と、該第1の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第2の構造体と、該第1の構造体と該第2の構造体との間で輻射を利用した熱交換を行なう熱交換部とを有することを特徴とする位置決め装置。

IPC (4)：

G05D 23/27 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 3/12 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G05D 23/27 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 3/12 L ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 503 F

F-Term (36)：

5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5H303AA06 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303CC03 ,  5H303DD04 ,  5H303DD09 ,  5H303DD11 ,  5H303EE03 ,  5H303EE06 ,  5H303FF03 ,  5H303GG06 ,  5H303GG11 ,  5H303HH02 ,  5H303HH05 ,  5H303HH07 ,  5H303JJ08 ,  5H303LL03 ,  5H323AA40 ,  5H323BB03 ,  5H323CA08 ,  5H323CB12 ,  5H323CB20 ,  5H323CB44 ,  5H323DA01 ,  5H323EE01 ,  5H323EE11 ,  5H323FF03 ,  5H323GG15 ,  5H323HH02 ,  5H323JJ07 ,  5H323KK07 ,  5H323NN03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 温調装置及び走査型露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-267824   Applicant：株式会社ニコン