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J-GLOBAL ID：200903008746712517

精密部品の洗浄方法

Inventor： 嶋田 清
Applicant, Patent owner： 島田理化工業株式会社
Agent (1)： 栂村 繁郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994329257
Publication number (International publication number)：1996155408
Application date： Dec. 05, 1994
Publication date： Jun. 18, 1996
Summary：

【要約】【目的】 基板のような精密部品の洗浄を充分に行ない、汚れがなく、洗浄剤の残存もない高品質の基板をうる。【構成】 オゾンガスを溶解させた水を被洗浄物に噴射し、ついでアルカリ性の洗浄剤で洗浄し、ついでオゾンを溶解させた水でリンスする。

Claim (excerpt)：

オゾンガスを溶解させた水を被洗浄物に噴射し、ついでアルカリ性の洗浄剤で洗浄することを特徴とする精密部品の洗浄方法。

IPC (5)：

B08B 3/10 ,  C11D 7/02 ,  C11D 7/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-310604
  
• 特開昭53-106387
  
• 高周波洗浄方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-140268   Applicant：株式会社プレテツク