弾性表面波素子電極

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996006311
Publication number (International publication number)：1997199976
Application date： Jan. 18, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】電極膜の耐久性および耐電力性が高く、しかも比抵抗の小さい、特性良好で長寿命な弾性表面波素子電極を提供する。【解決手段】圧電性基板上に形成した単層電極または多層電極で、電極を構成する少なくとも一層の金属膜の平均組成をCuxMy(x,yはwt%表示で、MをZn,Ni,Sn,Al,Mg,Be,Co,P,Cr,Zr,Si,Ti,Ce,Pdの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、0<y≦20,x+y=100)にすること、及び、電極の表面側または側面側の少なくとも一方に形成する。

Claim (excerpt)：

圧電性基板上に金属薄膜よりなる単層電極を形成して成る弾性表面波素子電極において、前記単層電極を構成する前記金属薄膜の膜厚方向の平均組成が、CuxMyなる合金(Cuをx重量%、金属Mをy重量%含む合金)で表せることを特徴とする弾性表面波素子電極。(但し、金属MはZn,Ni,Sn,Al,Mg,Be,Co,P,Cr,Zr,Si,Ti,Ce,Pdの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、かつ、0<y≦20,x+y=100なる条件を満たすものとする)

IPC (5)：

H03H 9/145 , C22C 9/00 , H01L 21/28 301 , H01L 41/09 , H03H 9/25

FI (6)：

H03H 9/145 Z , H03H 9/145 C , C22C 9/00 , H01L 21/28 301 Z , H03H 9/25 Z , H01L 41/08 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

弾性表面波デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-252289 Applicant：株式会社東芝

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